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제   목 [논문] 엑시머 레이져를 이용한 Micro-via 형성 기술
작성자 관리자
작성일 2015-06-22
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ㆍ조회: 516  
제 목
Optimization of microvia-technology using excimer laser for build-up layer application in microelectronics

저 자
Alfons Vervaet 외 3명

출 처
Applied Surface Science 252 (2006) 8243-8250